浮动电位阳极辉光发射装置

摘要

本实用新型属于一种浮动电位阳极辉光发射装置，其特征在于阳极（2）与悬浮外筒（3）之间设有间隙（6），阳极（2）为圆筒形，阳极（2）的左侧中心处设有接头（12），接头（12）中心设有氩气充气孔（10），并装有垫圈（8），用螺母（9）与接头（12）螺纹连接；接头（12）上装有绝缘套（11）；悬浮外筒（3）的左侧装有悬浮盖板（1）；悬浮外筒（3）的外面装有绝缘筒（5）；阳极（2）内设有放电的辉光腔（7）。该实用新型通过阳极内的辉光放电，电离氩气形成阳极辉光。阳极形成电子通道，使电子束流清洗工件，同时电离的气体离子奔向工件（阴极）对工件进行离子清洗，传递动能辅助成膜，提高膜层质量。

主权项

一种浮动电位阳极辉光发射装置，其特征在于阳极（2）与悬浮外筒（3）之间设有间隙（6），阳极（2）为圆筒形，阳极（2）的左侧中心处设有接头（12），接头（12）中心设有氩气充气孔（10），并装有垫圈（8），用螺母（9）与接头（12）螺纹连接；接头（12）上装有绝缘套（11）；悬浮外筒（3）的左侧装有悬浮盖板（1）；悬浮外筒（3）的外面装有绝缘筒（5）；阳极（2）内设有放电的辉光腔（7）。