半导体芯片测试手动探针台

摘要

半导体芯片测试手动探针台，属于探针台技术领域。包括探针台底座、承片台、承片台座、快速寻址机构、锁紧机构及微调机构，其特征是，锁紧机构由真空吸盘构成，微调机构由连杆、微调导向板、微调手柄、关节轴承、调心轴承构成，真空吸盘与探针台底座的台面为真空锁紧状态时，快速寻址机构被固定锁紧；微调手柄底端和关节轴承连接，微调手柄中部通过调心轴承连接连杆一端，连杆另一端与承片台座连接，拨动微调手柄，调心轴承能在水平面内做360°摆动，并带动连杆在水平面内做任何方向的移动，实现承片台座的微调。本实用新型能在芯片测试对准过程中，在完成快速粗对准后将快速寻址机构锁紧，实施微调动作，实现精对准。

主权项

一种半导体芯片测试手动探针台，包括探针台底座、安装在探针台底座立柱上的显微镜、升降台、固定在升降台上用于安装测试探针的探针架、用于放置待测试芯片的承片台、安装承片台的承片台座、快速寻址机构、锁紧机构及微调机构，所述探针台底座下面设有电器盒，所述承片台座置于快速寻址机构的导轨上，其特征是，所述锁紧机构由真空吸盘构成，所述微调机构由连杆、微调导向板、微调手柄、关节轴承、调心轴承构成，所述真空吸盘与探针台底座的台面贴合，所述微调机构设置在真空吸盘上，真空吸盘通过微调导向板与快速寻址机构连接，真空吸盘与探针台底座的台面为真空锁紧状态时，快速寻址机构被固定锁紧；所述微调手柄底端和关节轴承连接，微调手柄中部通过镶嵌在连杆内的调心轴承连接连杆一端，所述连杆另一端与承片台座连接，拨动微调手柄上部，通过关节轴承的支点作用，调心轴承能在水平面内做360°摆动，并通过调心轴承带动连杆在水平面内做任何方向的移动，实现承片台座的微调。