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Verfahren mit: (a) Bilden einer Anordnung (203) aus Überlagerungszielobjekten (200A, 200B, 200C, 200D) mit: vier Überlagerungszielobjekten (200A, 200B, 200C, 200D), die in einem 2 × 2-Array angeordnet sind, wovon jedes eine erste Substruktur (201) aus einer ersten Schicht eines Mehrschichtbauelements und eine zweite Substruktur (202) aus einer zweiten Schicht des Mehrschichtbauelements aufweist; wobei, wenn die erste Schicht und die zweite Schicht korrekt justiert sind, die erste Substruktur (201) und die zweite Substruktur (202) mindestens eines Überlagerungszielobjekts voneinander beabstandet sind entsprechend einem vordefinierten Versatz (DX, DY), um damit eine vordefinierte Asymmetrie bereitzustellen; und die Anordnung (203) aus Überlagerungszielobjekten (200A, 200B, 200C, 200D) invariant ist im Hinblick auf eine Drehung um einen vorbestimmten Winkel und eine Spiegelung um eine Spiegelachse (208, 209), die sich parallel zu einer Reihe oder Spalte des 2 × 2-Arrays erstreckt; wobei der vordefinierte Versatz jedes Überlagerungszielobjekts durch einen entsprechenden Versatzvektor (211A, 211B, 211C, 211D) definiert ist; und jeder Versatzvektor (211A, 211B, 211C, 211D) auf einer geraden Linie liegt, die durch einen Ursprung (210) des kartesischen Koordinatensystems verläuft; (b) Bestimmen einer Justiergenauigkeit zwischen der ersten Schicht und der zweiten Schicht aus einer räumlichen Beziehung zwischen der ersten Substruktur (201) und der zweiten Substruktur (202) der vier Überlagerungszielobjekte und auf der Grundlage eines Asymmetriewerts von jedem einzelnen Überlagerungszielobjekt; wobei das Bilden der Anordnung (203) aus Überlagerungszielobjekten (200A, 200B, 200C, 200D) weiterhin umfasst: Anordnen der Überlagerungszielobjekte in Quadranten eines kartesischen Koordinatensystems, das von einer X-Achse und einer Y-Achse aufgespannt wird, wobei der Ursprung des kartesischen Koordinatensystems mit dem Symmetriemittelpunkt der Anordnung (203) aus Überlagerungszielobjekten (200A, 200B, 200C, 200D) zusammenfällt, wobei die X-Achse der Spiegelachse (208) entspricht, die sich parallel zu der Reihe des 2 × 2-Arrays erstreckt und die Y-Achse der Spiegelachse (209) entspricht, die sich parallel zu der Spalte des 2 × 2-Arrays erstreckt; und wobei das Bestimmen der Justiergenauigkeit umfasst: Berechnen des Asymmetriewerts für jedes Überlagerungszielobjekt, der ein Maß für die Symmetrie der Anordnung (203) aus Überlagerungszielobjekten (208A, 200B, 200C, 200D) darstellt ... |
