一种用于氢化物气相外延的反应器

摘要

本发明公开一种用于立式氢化物气相外延（HVPE）的反应器，包括轴对称圆柱型腔体、前驱物通道、衬底、石墨圆盘及支撑杆；其中前驱物通道从上至下依次由第一圆筒、过渡段、第二圆筒、裙体扩展段、第三圆筒组成；该反应器还包括设置在第二圆筒中间位置的第二整流板，设置在第三圆筒内部具有周向阵列折流板的第一折流装置；包括设置在通道第一、第二、第三圆筒内部的第一、第二、第三整流板，以及设置在石墨盘径向外围的第二折流装置；包括对反应式腔体外壁进行径向扩充；包括设置在通道第一、第二圆筒内部的第一、第二整流板，设置在第三圆筒内部与石墨盘径向外围的第一、第二折流装置，以及反应气体的径向出口。

主权项

一种立式氢化物气相外延（HVPE）用反应器，其特征为：包括轴对称圆柱型腔体、前驱物通道、衬底、石墨圆盘及支撑杆、整流板、折流装置；其中所述前驱物通道从上至下依次由第一圆筒、过渡段、第二圆筒、裙体扩展段、第三圆筒组成；其特征还在于：所述整流板设置在前驱物通道第一圆筒、第二圆筒或第三圆筒内部；所述折流装置设置在第三圆筒内表面或石墨盘径向外围；所述反应器的下端反应气体排放出口采用径向出口。