发明名称 一种降低镀铜层空隙率的无氰电镀铜的方法
摘要 本发明涉及一种降低镀铜层空隙率的无氰电镀铜的方法:对基体交替进行直流电镀单元和脉冲电镀单元,电镀液pH控制在12~13之间,温度为50~70℃。其中,每一个直流电镀单元电镀铜的阴极电流密度为0.5~3.0A/dm<sup>2</sup>,电镀时间为2-3min;其中,每一个交流电镀单元电镀铜的脉冲平均电流密度为0.5-3.0A/dm<sup>2</sup>;占空比为15%,电镀时间为2-3min。所述方法获得的镀层在镀层厚度为10-20μm时具有极小的空隙率。
申请公布号 CN103806050A 申请公布日期 2014.05.21
申请号 CN201210445617.5 申请日期 2012.11.08
申请人 无锡新三洲特钢有限公司 发明人 林永峰
分类号 C25D5/18(2006.01)I;C25D3/38(2006.01)I 主分类号 C25D5/18(2006.01)I
代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 杨小双
主权项 一种降低镀铜层空隙率的无氰电镀铜的方法:对基体交替进行直流电镀单元和脉冲电镀单元,电镀液pH控制在12~13之间,温度为50~70℃;其中,每一个直流电镀单元电镀铜的阴极电流密度为0.5~3.0A/dm<sup>2</sup>,电镀时间为2‑3min;其中,每一个交流电镀单元电镀铜的脉冲平均电流密度为0.5‑3.0A/dm<sup>2</sup>;占空比为15%,电镀时间为2‑3min。
地址 214100 江苏省无锡市惠山区前洲街道北幢村无锡新三洲特钢有限公司