发明名称 |
一种降低镀铜层空隙率的无氰电镀铜的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种降低镀铜层空隙率的无氰电镀铜的方法:对基体交替进行直流电镀单元和脉冲电镀单元,电镀液pH控制在12~13之间,温度为50~70℃。其中,每一个直流电镀单元电镀铜的阴极电流密度为0.5~3.0A/dm<sup>2</sup>,电镀时间为2-3min;其中,每一个交流电镀单元电镀铜的脉冲平均电流密度为0.5-3.0A/dm<sup>2</sup>;占空比为15%,电镀时间为2-3min。所述方法获得的镀层在镀层厚度为10-20μm时具有极小的空隙率。 |
申请公布号 |
CN103806050A |
申请公布日期 |
2014.05.21 |
申请号 |
CN201210445617.5 |
申请日期 |
2012.11.08 |
申请人 |
无锡新三洲特钢有限公司 |
发明人 |
林永峰 |
分类号 |
C25D5/18(2006.01)I;C25D3/38(2006.01)I |
主分类号 |
C25D5/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
杨小双 |
主权项 |
一种降低镀铜层空隙率的无氰电镀铜的方法:对基体交替进行直流电镀单元和脉冲电镀单元,电镀液pH控制在12~13之间,温度为50~70℃;其中,每一个直流电镀单元电镀铜的阴极电流密度为0.5~3.0A/dm<sup>2</sup>,电镀时间为2‑3min;其中,每一个交流电镀单元电镀铜的脉冲平均电流密度为0.5‑3.0A/dm<sup>2</sup>;占空比为15%,电镀时间为2‑3min。 |
地址 |
214100 江苏省无锡市惠山区前洲街道北幢村无锡新三洲特钢有限公司 |