发明名称 成膜源、蒸镀装置、有机电激发光元件之制造装置
摘要
申请公布号 TWI438291 申请公布日期 2014.05.21
申请号 TW098106201 申请日期 2009.02.26
申请人 爱发科股份有限公司 日本 发明人 根岸敏夫;越田达彦
分类号 C23C14/24;H05B33/10 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本