一种间隙或厚度测量装置及测量方法

摘要

本发明涉及一种间隙或厚度测量装置，包括固定板、活动机构、活动板和至少一个拉力传感器；活动机构包括固定端和活动端，固定板固定设置在活动机构的固定端，活动板设置在活动机构的活动端，且活动板在活动机构活动端的作用下，与固定板相平行地做水平或垂直运动；各个拉力传感器分别设置在固定板中或活动板中；本发明还涉及基于间隙或厚度测量装置的测量方法，基于流体力学原理，采用拉力传感器测得相对恒定速度运动下粘性流体产生的局部粘滞力，在此基础上进行分析计算，实现了针对被测物上被测间隙的测量，方法简便易于实现，便于控制。

主权项

一种间隙或厚度测量装置，其特征在于：包括固定板、活动机构、活动板和至少一个拉力传感器；其中，活动机构包括固定端和活动端，固定板固定设置在活动机构的固定端，活动板设置在活动机构的活动端，且活动板在活动机构活动端的作用下，与固定板相平行地做水平或垂直运动；各个拉力传感器分别设置在固定板中或活动板中，各个拉力传感器的拉力检测端指向固定板和活动板之间的相对区域，并与其所在固定板上或活动板上面向固定板和活动板之间相对区域的一面共面。