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经营范围
发明名称
对准标记、半导体元件及其制造方法
摘要
申请公布号
TWI438586
申请公布日期
2014.05.21
申请号
TW099147341
申请日期
2010.12.31
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
发明人
谢铭峯;张雅惠;刘如淦;欧宗桦;谢艮轩;林本坚
分类号
G03F9/00;H01L21/027
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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