发明名称 Schutzfenstervorrichtung für eine Beschichtungsanlage
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Schutzfenstervorrichtung für eine Beschichtungsanlage, wobei die Schutzfenstervorrichtung folgendes umfasst: ein Fenster, das eine Außenabmessung aufweist, die größer ist als eine Innenabmessung einer Öffnung einer Schutzblende, einen Rahmen, der das Fenster wenigstens teilweise entlang eines Außenrands des Fensters umschließt, und ein Verschiebemittel, das außerhalb der Öffnung angeordnet ist und in Wirkverbindung mit dem Rahmen steht, um eine Verschiebung des Fensters zu bewirken.</p>
申请公布号 DE102013100443(A1) 申请公布日期 2014.05.15
申请号 DE201310100443 申请日期 2013.01.16
申请人 CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH 发明人 MARGRAF, JÖRG
分类号 C23C14/52;C23C16/52 主分类号 C23C14/52
代理机构 代理人
主权项
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