电镀槽

摘要

本发明属于制作太阳能电池设备技术领域，尤其涉及一种电镀槽。所述电镀槽用于将铜或镓或铟或硒元素或者合金沉积于衬底表面，包括有电镀子槽和母槽，所述电镀子槽具有盛装电镀液的容纳腔；所述电镀子槽的侧面挂设有浸没于电镀液中的阳极，所述电镀子槽的中间处设有用于携带所述衬底同步移动的传送装置，所述阳极设置于所述传送装置的两侧；所述传送装置的两侧面上与所述阳极相对设置部分浸没于所述电镀液中；所述衬底经过所述电镀子槽时，贴附于所述传送装置侧面且与所述阳极相对设置。本发明的电镀生产线缩短了生产线的长度，空间占用小，只对衬底正面沉积，工艺步骤少，且阳极与所述衬底相对设置，保证了沉积CIGS吸收层的表面的均匀度和光洁度。

主权项

一种电镀槽，用于将铜或镓或铟或硒元素沉积于衬底的一表面，其特征在于，包括电镀子槽，具有用于盛装电镀液的容纳腔；阳极，用于沉积CIGS吸收层呈板状设置并挂设于所述电镀子槽的侧壁，浸没于所述电镀液中；传送装置，设置于所述电镀子槽的中间处，用于携带所述衬底同步移动，所述传送装置的传动路径呈由多线段首尾相接而成的封闭状；所述阳极分别与所述传送装置上沉浸于电镀液中对称设置的侧面平行相对设置，所述衬底贴附于所述传送装置上沉浸于电镀液内的侧面且与所述阳极平行相对设置。