一种垂直方向角度测量的系统

摘要

本发明涉及一种垂直方向角度测量的技术领域，特别是应用在离子注入机某些角度敏感的工艺，并通过精确的结构控制可以精确测量垂直方向的束流角度。一种垂直方向角度测量的系统，包括挡束杯(1)、电机及传动机构(2)、剂量控制器(3)及其内部的档位选择部分(6)、I／V转换及放大部分(7)、ADC转换模块(8)、NI系统(4)及其内部的运动控制板卡UMI-7774(9)、束流采集模块PXI-7842R(10)、运动控制卡PXI-7352(11)、上位机(5)。说明书对一种测量垂直方向角度及控制的方法作出了详细说明，并给出了具体实施例。

主权项

一种垂直方向角度测量的系统，其特征在于：该系统包括挡束杯(1)、电机及传动机构(2)、剂量控制器(3)及其内部的档位选择部分(6)、I／V转换及放大部分(7)、ADC转换模块(8)、NI系统(4)及其内部的运动控制板卡UMI‑7774(9)、束流采集模块PXI‑7842R(10)、运动控制卡PXI‑7352(11)、上位机(5)。