发明名称 |
一种面向工艺腔室气流分布调节的CVD设备喷淋头 |
摘要 |
本发明涉及一种化学气相沉积设备领域,特别涉及一种面向工艺腔室气流分布调节的CVD设备喷淋头。该喷淋头上设置若干个台阶形的喷淋孔,喷淋孔由上部直径较大的圆孔和下部直径较小的圆孔构成;通过使台阶深度、大孔孔径、小孔孔径中的一个或多个参数从喷淋头板面中心到边缘逐渐增大,进而实现喷淋头板面阻抗从中心到边缘逐渐减小,预期气流通量逐渐增大,实现了喷淋头板面阻抗分布的调整,进而实现了对工艺腔室内气流分布的调节。本发明的设计方案廉价、高效,仅通过对喷淋头小孔配置进行连续性设计,即实现了对工艺腔室内气流分布的精细化调节,进而实现了对工艺品质分布精细化调节。 |
申请公布号 |
CN103789748A |
申请公布日期 |
2014.05.14 |
申请号 |
CN201410031238.0 |
申请日期 |
2014.01.22 |
申请人 |
清华大学 |
发明人 |
向东;夏焕雄;张瀚;杨旺;王伟;牟鹏;刘学平 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 |
北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 |
代理人 |
张文宝 |
主权项 |
一种面向工艺腔室气流分布调节的CVD装置喷淋头,其特征在于,该喷淋头(3)上设置若干个台阶形的喷淋孔(31),喷淋孔(31)由上部直径较大的大圆孔和下部直径较小的小圆孔构成;该喷淋孔(31)有以下几种布置方式:从喷淋头板面(14)的中心到边缘,保持喷淋孔(31)的台阶深度相同,喷淋孔(31)的大圆孔或小圆孔的孔径逐渐增大,进而实现喷淋头板面阻抗从中心到边缘逐渐减小,预期气流通量逐渐增大;或者从喷淋头板面(14)的中心到边缘,保持喷淋孔(31)的大圆孔及小圆孔的孔径不变,喷淋孔(31)的台阶深度逐渐增大,进而实现喷淋头板面阻抗从中心到边缘逐渐减小,预期气流通量逐渐增大;或者从喷淋头板面(14)的中心到边缘,喷淋孔(31)的大圆孔孔径、小圆孔孔径以及喷淋孔(31)的台阶深度三个参数中的一个保持不变,另两个参数同时逐渐增大,进而实现喷淋头板面阻抗从中心到边缘逐渐减小,预期气流通量逐渐增大;或者从喷淋头板面(14)的中心到边缘,喷淋孔(31)的大圆孔孔径、小圆孔孔径以及喷淋孔(31)的台阶深度三个参数同时逐渐增大,,进而实现喷淋头板面阻抗从中心到边缘逐渐减小,预期气流通量逐渐增大。 |
地址 |
100084 北京市海淀区北京市100084-82信箱 |