一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构

摘要

本发明提供了一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构。它是由金属钼片、氧化锆和氧化铝纤维砖制作而成，分为上、侧和下隔热屏结构，本发明利用氧化锆和氧化铝纤维砖优异的保温性及抗变形能力，更加有效地利用热能，减少热量损失，增强设备的稳定性，解决传统泡生法单晶炉中热能利用率低，使用的钼隔热屏结构在高温环境下挥发、变形，使用寿命短等问题。

主权项

一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于它包括上、侧和下隔热屏结构，上隔热屏包括多层钼片隔热屏及位于其上的氧化锆纤维砖保温层；侧隔热屏由内向外依次为钼隔热屏、由氧化锆纤维砖制成的氧化锆保温桶和氧化铝纤维砖制成的氧化铝保温桶；下隔热屏包括由多层钼片制成的钼隔热结构及底部由氧化锆和氧化铝纤维砖制成的氧化锆保温层和氧化铝保温层。