耦合结构及其形成方法

摘要

用于将压电材料产生的应力耦合到集成电路的致动器件的耦合结构包括：形成在压电(PE)材料和所述致动器件周围的刚硬的刚性体结构，所述致动器件包括具有取决于施加至其上的压力的电阻的压阻(PR)材料；和形成在PE材料和PR材料周围的软的缓冲结构，所述缓冲结构设置在所述PE及PR材料与所述刚性体结构之间，其中对于所述PE和PR材料形成于其上的基底，所述刚性体结构夹住所述PE和PR材料两者，且其中所述软的缓冲结构允许所述PE材料相对于所述PR材料运动的自由，由此将由向所述PE材料施加的电压产生的应力耦合到所述PR材料以改变所述PR材料的电阻。

主权项

用于将压电材料产生的应力耦合到集成电路的致动器件的耦合结构，所述结构包括：形成在压电材料和所述致动器件周围的刚硬的刚性体结构，所述致动器件包括具有取决于施加至其上的压力的电阻的压阻材料；和形成在所述压电材料和压阻材料周围的软的缓冲结构，所述缓冲结构设置在所述压电材料及压阻材料与所述刚性体结构之间，其中对于所述压电材料和压阻材料形成于其上的基底，所述刚性体结构夹住所述压电材料和压阻材料两者，且其中所述软的缓冲结构允许所述压电材料相对于所述压阻材料运动的自由，由此将由向所述压电材料施加的电压产生的应力耦合到所述压阻材料以改变所述压阻材料的电阻。