微波照射装置以及微波照射方法

摘要

本发明的目的在于提供一种使用多个磁控管以减少反射电力，从而能够照射微波的微波照射装置以及微波照射方法。微波照射装置100包括：收纳被处理体的腔室1；通过供给电压使其产生微波，将该微波照射在所述腔室1内的被处理体上的多个磁控管10a、10b；以及向这些多个磁控管10a、10b供给脉冲状电压的电源部20，电源部20按照被分别供给多个磁控管10a、10b的脉冲状电压的电压脉冲彼此在时间上不重叠的方式供给电压。

主权项

一种微波照射装置，其特征在于，包括：收纳被处理体的腔室；通过被供给电压而产生微波，将该微波照射在所述腔室内的被处理体的多个磁控管；以及向所述多个磁控管供给脉冲状电压的电源部，其中，所述电源部按照被分别供给至所述多个磁控管的脉冲状电压的电压脉冲彼此在时间上不重叠的方式供给电压，所述电源部具有：将交流电流转换成直流的交流/直流转换部；第一及第二开关电路，分别具有多个开关晶体管，输入所述被转换的直流电压，在所述各个开关晶体管中产生导通·关闭循环，通过这些各个开关晶体管的组合来输出规定的脉冲状电压；控制所述第一及第二开关电路的开关控制部；将规定波形的脉冲状电压从所述第一开关电路向第一及第二磁控管交替引导的第一电压供给电路；和将规定的脉冲状电压从所述第二开关电路向第三及第四磁控管交替引导的第二电压供给电路。