一种介质薄膜光学参数的测量装置

摘要

本实用新型公开了一种介质薄膜光学参数的测量装置，该测量装置包括用于置放样品的样品台组件、折射率和厚度测量组件、透射率和反射率测量组件、控制器；折射率和厚度测量组件由激光光源组件、偏振器、半透半反镜、圆孔光阑、自准探测器和测量探测器组成，透射率和反射率测量组件由白光光源、与白光光源连接的用于准直光路的准直透镜组、用于收集经置放于样品台组件上的样品透射的光或反射的光的积分球、与积分球连接的光谱仪组成，优点是该测量装置利用折射率和厚度测量组件可测得样品的折射率和厚度，利用透射率和反射率测量组件可测得样品的透射率和反射率，实现了多种光学参数的测量，并且测量精度高。

主权项

一种介质薄膜光学参数的测量装置，其特征在于包括折射率和厚度测量组件、透射率和反射率测量组件、用于置放样品的样品台组件、控制器； 所述的折射率和厚度测量组件由激光光源组件、偏振器、半透半反镜、圆孔光阑、自准探测器和测量探测器组成，所述的偏振器、所述的半透半反镜和所述的圆孔光阑依次设置于所述的激光光源组件发出的激光的光传播路径上，所述的激光光源组件发出的激光经过所述的偏振器后形成偏振光，所述的偏振器输出的偏振光经所述的半透半反镜再通过所述的圆孔光阑后形成细小光束，所述的圆孔光阑输出的细小光束入射到所述的样品上，所述的测量探测器位于经所述的样品反射的光的光传播路径上，以接受经所述的样品反射的光，所述的自准探测器位于经所述的半透半反镜反射的光的光传播路径上，以接收经所述的半透半反镜反射的光，所述的测量探测器和所述的自准探测器分别与所述的控制器连接； 所述的透射率和反射率测量组件由白光光源、光纤、准直透镜组、积分球和光谱仪组成，所述的白光光源通过所述的光纤与所述的准直透镜组连接，所述的白光光源发出的光通过所述的准直透镜组后形成平行光入射至所述的样品上，所述的积分球位于经所述的样品透射的光或经所述的样品反射的光的光传播路径上，以接受经所述的样品透射的光或反射的光，所述的积分球与所述的光谱仪连接，所述的积分球传输其收集的经所述的样品透射的光或经所述的样品反射的光给所述的光谱仪，所述的光谱仪与所述的控制器连接。