| 发明名称 | 掩模盒、搬送装置、曝光装置、掩模搬送方法及器件制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种掩模盒，其是收纳掩模的掩模盒C，在其与作为载放该掩模盒C的外部装置的搬送车V及搬送装置H1的接触部，具备具有与掩模的负荷对应的强度的加强构件，搬送掩模的搬送车V及搬送装置H1分别具备作为盒支承部的多个万向滚珠43、52，其支承收纳了掩模的掩模盒C的加强构件，并且抑制在其与该加强构件之间产生的摩擦。 | ||
| 申请公布号 | CN101809709B | 申请公布日期 | 2014.04.30 |
| 申请号 | CN200880108833.2 | 申请日期 | 2008.11.12 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 向井干人;吹田文吾 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G03F1/66(2012.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 经志强;杨林森 |
| 主权项 | 一种掩模盒，是收纳曝光装置中所使用的掩模，并由所述曝光装置具备的搬送装置搬送的掩模盒，其特征在于，包括：收纳部主体，其收纳所述掩模；加强构件，其设于所述收纳部主体的底面部，并由所述搬送装置具备的支承部支承，所述加强构件通过所述支承部具有的多个支承构件被支承为，能够相对于所述多个支承构件移动。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||