| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Mehrfachbeschichtungseinrichtung zur Oberflächenbeschichtung eines Bandsubstrats, umfassend eine Kühlwalze mit einer zylindrischen Mantelfläche zur kühlenden Führung des Bandsubstrats um einen mehr als 180° umfassenden Teilumfang der Mantelfläche herum sowie eine über einen mehr als 180° umfassenden Teilumfang der Mantelfläche verteilte Anordnung von Kompartments mit mindestens jeweils einer darin angeordneten Behandlungseinrichtung, wobei die Anordnung von Kompartments in zwei durch eine Trennebene getrennte Teilanordnungen aufgeteilt ist, die Kompartments jeder Teilanordnung relativ zueinander ortsfest angeordnet sind und jede Teilanordnung einen Teilumfang der Mantelfläche der Kühlwalze von nicht mehr als 180° umschließt, dadurch gekennzeichnet, dass beide Teilanordnungen in einer Richtung senkrecht zur Trennebene von der Kühlwalze weg verschiebbar sind, sowie eine Bandsubstrat-Vakuumbeschichtungsanlage mit einer solchen Mehrfachbeschichtungseinrichtung.</p> |
