一种铸锭炉双侧排气装置

摘要

本实用新型公开了一种铸锭炉双侧排气装置，属于铸锭炉排气技术领域，包括主抽气管、慢抽气支管、泄压口和抽气装置；主抽气管上端分为对称的两条主抽气管支管，分别连接到与铸锭炉体侧壁左右对称的位置上；主抽气管上设有泄压口；主抽气管竖直管路侧壁上设有慢抽气支管，主抽气管和慢抽气支管的下端均与连接到真空泵上；所述慢抽气支管管路上装有慢抽气阀门；主抽气管管路上与慢抽气支管并联的部位装有快抽气阀门；此双侧对称的排气结构为多晶硅铸锭工艺过程提供对称流通的气流，使得硅锭界面更加平稳，同时左右对称的气流也更加平稳，平稳对称的气流将更多地带走硅液中的杂质，提高了气体的杂质排出量，有助于提高硅锭的质量和生产效率。

主权项

一种铸锭炉双侧排气装置，其特征在于包括主抽气管（1）、慢抽气支管（4）、泄压口（8）和抽气装置；所述主抽气管（1）上端分为对称的两条主抽气管支管（6），分别连接到与铸锭炉体（7）侧壁左右对称的位置上；主抽气管（1）上设有泄压口（8）；所述主抽气管（1）竖直管路侧壁上设有慢抽气支管（4），所述主抽气管（1）和慢抽气支管（4）的下端均连有抽气装置。