一种研究材料特定温度下力学性能原位TEM拉伸台

摘要

一种研究材料特定温度下力学性能原位TEM拉伸台属于透射电镜配件及材料原位测量研究领域。拉伸台包括支撑部分、驱动部分和智能拉伸器三部分，所述的支撑部分是金属环，所述的驱动部分为热双金属片，热双金属片一端固定在金属环上，另一端可自由移动；智能拉伸器与热双金属片并行排列分布在金属环的中心，所述的智能拉伸器为通过精密蚀刻技术或者半导体工艺制备的载片，依次包括拉伸梁，缓冲器，矫正梁，测力悬臂梁，拉伸梁，矫正梁。该拉伸台可以方便的实现在特定温度下对材料施加面内应力作用，并且可以方便的将样品倾转到低指数正带轴下实现原子尺度的观测，同时给出应力信号。

主权项

一种研究材料特定温度下力学性能原位TEM拉伸台，其特征在于拉伸台包括支撑部分、驱动部分和智能拉伸器三部分，所述的支撑部分是金属环，所述的驱动部分为热双金属片，热双金属片一端固定在金属环上，另一端可自由移动；智能拉伸器与热双金属片并行排列分布在金属环的中心，所述的智能拉伸器为通过精密蚀刻技术或者半导体工艺制备的载片，依次包括拉伸梁，缓冲器，矫正梁，测力悬臂梁，拉伸梁，矫正梁，测力悬臂梁依次平行排列，拉伸梁中间部位靠近矫正梁的一侧设有一个T型拉伸台，矫正梁包括两条平行排列中间连接的梁组成，在矫正梁中部靠近拉伸梁的一端设有缓冲器，缓冲器为一方C型中空结构,在靠近拉伸梁的一端设有一开口并将T型拉伸台包含在方C型中空结构，方C型结构确保T型拉伸台移动时带动方C型中空结构移动，方C型中空结构与T型拉伸台之间设有一狭缝；矫正梁中部另一侧设有载物台I，测力悬臂梁中部靠近矫正梁的位置设置有另一载物台II，样品两端分别固定在载物台I和载物台II上面，连接器一端固定在拉伸梁中部，另一端固定在热双金属片上。