扫描电子显微镜

摘要

本发明提供一种扫描电子显微镜，为了提供即便是低探针电流也能辨别检测反射电子和二次电子的低加速的扫描电子显微镜而具备：电子枪(29)、光阑(26)、样品台(3)、用于将电子束(31)会聚于样品(2)上的电子光学系统(4-1)、偏转部件(10)、二次电子检测器(8)、反射电子检测器(9)、和处于电子枪(29)与样品(2)之间的位置处的筒状的电子输送部件(5)，反射电子检测器(9)设置在电子输送部件(5)的内部、且与二次电子检测器(8)以及偏转部件(10)相比更靠电子枪(29)的远方侧，反射电子检测器(9)的感受面(9-1)在电气上被布线成与电子输送部件(5)相同电位。

主权项

一种扫描电子显微镜，其特征在于，具备：电子源，其产生成为探针的电子束；光阑，其对所述电子束的直径进行限制；样品台，其用于搭载所述电子束所照射的样品；物镜，其用于将所述电子束会聚于所述样品表面；偏转部件，其用于使所述电子束在照射所述电子束的样品上进行扫描；二次电子检测器，其检测来自所述样品的二次电子；反射电子检测器，其检测来自所述样品的反射电子或者由反射电子所引起的转换电子；和筒状的电子输送部件，其在处于所述电子源与搭载于所述样品台的样品之间的位置，所述反射电子检测器的感受面设置在所述电子输送部件的内部，且与所述二次电子检测器以及所述偏转部件相比更靠所述电子源的远方侧，所述反射电子检测器的所述感受面在电气上被布线成与所述电子输送部件相同电位。