一种太阳能离子注入机硅片缓存装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能离子注入机硅片缓存装置。所述太阳能离子注入机硅片缓存装置包括上料电梯和下料电梯；所述上料电梯和下料电梯均包括安装在固定板上的驱动电缸、装在驱动电缸的导轨上且可相对驱动电缸的导轨竖向运动的滑动板、与该滑动板固定相连的多层多列硅片承载台；其中，某一列的多层硅片承载台竖向布置，某一层的多列硅片承载台近似水平布置。本实用新型能够满足在上下料传送带连续运动状态下进行取放片动作，同时实现硅片在传送带与机械手之间的中转暂存功能，减少硅片传送带空转时间和机械手的等待时间，提高硅片传输效率。

主权项

一种太阳能离子注入机硅片缓存装置，其特征在于，包括上料电梯（100）和下料电梯（200）；所述上料电梯（100）和下料电梯（200）均包括安装在固定板（101）上的驱动电缸（102）、装在驱动电缸（102）的导轨上且可相对驱动电缸（102）的导轨竖向运动的滑动板（103）、与该滑动板（103）固定相连的多层多列硅片承载台；其中，某一列的多层硅片承载台竖向布置，某一层的多列硅片承载台近似水平布置。