基于暗角补偿的图像传感器像素阵列及其形成方法

摘要

本发明一种基于暗角补偿的图像传感器像素阵列及其形成方法，包括多个像素单元，每个像素单元包括光电二极管、传输晶体管栅极和悬浮漏极，所述光电二极管基于入射光产生电荷，所述传输晶体管栅极将所述光电二极管产生的电荷转移至其悬浮漏极，其中，所述光电二极管的注入区和传输晶体管栅极具有一重叠区，以及所述多个像素单元的光电二极管注入区和传输晶体管栅极的重叠区的面积从所述像素阵列的边缘向中心递减。本发明还提供了一种基于暗角补偿的图像传感器像素阵列的形成方法，能有效对图像暗角进行补偿，以提高图像质量。

主权项

一种基于暗角补偿的图像传感器像素阵列，其特征在于，包括多个像素单元，每个像素单元包括光电二极管、传输晶体管栅极和悬浮漏极，所述光电二极管基于入射光产生电荷，所述传输晶体管栅极将所述光电二极管产生的电荷转移至其悬浮漏极，其中，所述光电二极管的注入区和传输晶体管栅极具有一重叠区，以及所述多个像素单元的光电二极管注入区和传输晶体管栅极的重叠区的面积从所述像素阵列的边缘向中心递减。