发明名称 Elektronenmikroskop
摘要 Es wird ein Elektronenmikroskop angegeben, bei dem eine Probenhalterung mit angelegter Hochspannung befestigt werden kann. Die Probenhalterung ist sicher (Einrichtung zur Vorbeugung vor elektrischen Schlägen) und auf die Bedienbarkeit der Probenhalterung wurde besonders geachtet. Die vorliegende Erfindung umfasst eine Probenhalterung, bei der eine Funktion darin besteht, eine Spannung an einen Probenhalter anzulegen, der zur Befestigung einer Probe ausgebildet ist, eine Spannungsquelle, die die an den Probenhalter anzulegende Spannung liefert, ein Spannungskabel, das mit einem seiner Enden mit der Probenhalterung verbunden ist, und eine Relaiseinheit, mit der das andere Ende des Spannungskabels verbunden ist, wobei die Relaiseinheit auf einem Unterbau angeordnet ist, der den Linsentubus des Elektronenmikroskops trägt.
申请公布号 DE112012003028(T5) 申请公布日期 2014.04.10
申请号 DE20121103028T 申请日期 2012.05.16
申请人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 AKATSU, MASAHIRO;OGASHIWA, TAKESHI
分类号 H01J37/20;H01J37/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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