| 发明名称 | 一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种电子束蒸发制备掺杂氧化锌薄膜的低能耗、易实现的工艺方法，属于透明导电薄膜制备领域。该制备方法为电子束蒸发法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其中，蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0.40～0.80Pa。利用上述制备方法制备的掺杂氧化锌薄膜的方块电阻在50～130Ω/□之间、透光率＞90％，可广泛应用于制备太阳能电池、平板显示器和发热薄膜中。 | ||
| 申请公布号 | CN102586741B | 申请公布日期 | 2014.04.09 |
| 申请号 | CN201210051815.3 | 申请日期 | 2012.03.01 |
| 申请人 | 大连理工大学 | 发明人 | 叶飞;曹善鹏;侯波;张文征 |
| 分类号 | C23C14/30(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人 | 赵淑梅 |
| 主权项 | 一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其特征在于：所述蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0.40～0.80Pa，所述靶材致密度为59～70%。 | ||
| 地址 | 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 | ||