用于微光刻的照明光学部件

摘要

一种用于微光刻的照明光学部件，该照明光学部件包括用于将照明光引导到物平面中要照明的物场的光学组件。根据本发明的第一方面，照明光学部件(26)将照明光辐射束(3)分成多个辐射子束(28至30)，该多个辐射子束被分配物场照明的不同照明角。照明光学部件(26)被配置以使辐射子束(28至30)中的至少一些在交叠平面中交叠，该交叠平面与物平面分开且不被成像到其中发生交叠的物平面。该交叠使得交叠辐射子束(28至30)的边缘(32)至少部分地重合。根据本发明的另一方面，场强度设定装置(24)包括多个相邻的单独的光阑(27)，当对那里曝光时，该多个相邻的单独的光阑至少减弱照明光(3)。这些单独的光阑(27)在平行于物移动方向(v)的方向上可插入到照明光辐射束(3)中。场强度设定装置(24)的所有单独的光阑(27)可从同一侧插入到照明光辐射束(3)中。

主权项

用于微光刻的照明光学部件(26)，包括：‑光学组件(26a)，用于将照明光引导到物平面(17)中要照明的物场(19)；‑场强度设定装置(24)，用于利用多个单独的光阑(27)调整物场(19)上的强度分布，该多个单独的光阑(27)一个接着另一个布置并当照明光对其曝光时至少衰减该照明光，且在平行于物移动方向(v)的方向上可插入到照明光辐射束(3)中；其中，场强度设定装置(24)的所有单独的光阑(27)被布置使得所述所有单独的光阑(27)都从同一侧可插入到该照明光辐射束中，该插入布置使得通过所述单独的光阑(27)的定义插入位置以给定方式可均匀化或分布所述照明光辐射束(3)的强度。