X-Y-Begrenzungseinheit und Tischvorrichtung und Unterdrucktischvorrichtung, die diese enthalten

摘要

Es werden X-Y-Begrenzungseinheiten, die eine ausgezeichnete Gierlagenpräzision besitzen, sowie eine Tischvorrichtung und eine Unterdrucktischvorrichtung, die jeweils die X-Y-Begrenzungseinheiten enthalten, geschaffen. Die X-Y-Begrenzungseinheiten 8 und 9 enthalten: Y-Achsen-Basen 81 und 91, die mit dem Y-Achsen-Gleitstück 4 bzw. 5 verbunden sind und entlang der Z-Richtung eine Durchgangsbohrung besitzen; X-Achsen-Basen 82 und 92, die jeweils mit einer X-Achsen-Führungsschiene 6 verbunden sind, Wellen 83 und 93, die jeweils in die Durchgangsbohrung eingeführt sind und an den X-Achsen-Basen 82 und 92 befestigt sind; und mehrere Lagerkugeln, die zwischen einer Innenumfangsfläche jeder Durchgangsbohrung und einer Außenumfangsfläche der Wellen 83 und 93 gelegen sind und so angeordnet sind, dass sie die Wellen 83 und 93 in Umfangsrichtung umgeben. Sowohl die Tischvorrichtung 1 als auch die Unterdrucktischvorrichtung enthält die X-Y-Begrenzungseinheiten.