| 发明名称 | 基板浮起装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板浮起装置，在该基板浮起装置中，利用简单的结构对浮起板供给压力恒定的空气。基板浮起装置(10)具备：多个浮起板(11)，它们排出基板浮起用的空气；缓冲罐(12a)，其暂时地贮存对该多个浮起板(11)供给的空气；以及多个空气配管(13)，它们从该缓冲罐(12a)分别对多个浮起板(11)供给空气，其中，浮起板(11)呈矩形瓦片状，并呈矩阵状排列，缓冲罐(12a)配置在用于配置多个浮起板(11)的区域的下方，并且沿着浮起板(11)的排列方向(箭头D1、D2)中的一个方向延伸，多个空气配管(13)利用实质上相同的长度将缓冲罐(12a)和多个浮起板(11)之间连结起来。 | ||
| 申请公布号 | CN101643150B | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN200910157418.2 | 申请日期 | 2009.07.28 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 木内智一 |
| 分类号 | B65G49/06(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | B65G49/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 一种基板浮起装置，所述基板浮起装置具备：多个浮起板，所述浮起板呈矩形瓦片状，并呈矩阵状排列，从而形成于上表面的空气排出孔排出基板浮起用的空气；缓冲罐，其配置在用于配置所述多个浮起板的区域的下方，并且沿着所述浮起板的排列方向中的一个方向延伸，暂时地贮存对该多个浮起板供给的空气；以及多个空气配管，它们从所述缓冲罐到所述各浮起板的距离彼此相同，从所述缓冲罐对所述各浮起板供给空气，支承所述多个浮起板的板支承框架使用方管，利用板状的密封部件密封该方管的内部的中空部分的两端开口部而将所述板支承框架转用作所述缓冲罐，所述缓冲罐在侧面设置有连接于所述空气配管的配管接头。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||