一种砷化镓多晶无液封合成装置

摘要

本发明提供一种砷化镓多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部，加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部，合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元，运动单元与合成单元、合成炉体相连接；石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合。

主权项

一种砷化镓多晶无液封合成装置，包括合成炉体和位于合成炉体内的石墨系统，石墨系统包括保温单元、加热单元和合成单元，保温单元包括石墨保温罩和石墨保温桶，加热单元包括电极、加热器和外围温控电路，合成单元、以及加热单元中的电极和加热器位于保温单元的内部，加热单元中的加热器和电极位于合成单元外围中下部，合成单元包括石墨坩埚盖、石墨坩埚和氮化硼坩埚，其特征在于，所述石墨系统还包括使合成单元升降转动的运动单元，运动单元与合成单元、合成炉体相连接；石墨坩埚和石墨坩埚盖在连接处设计台阶形状相吻合。