一种锌镓铝三元氧化物旋转陶瓷靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及一种锌镓铝三元氧化物（中空管状）旋转陶瓷靶材及其制备方法。其特点是，原料组成以质量百分比计为：氧化镓含量为0.5-3.5%、氧化铝含量为0.5-2.5%、氧化钨含量为0.002-0.05%，余量为氧化锌。本发明以氧化锌、氧化镓、氧化铝及微量氧化钨粉末为原料，采用干法混合、焙烧、湿法球磨分散处理工艺，使各组分在基体内分布均匀，三元氧化物混合粉具有良好分散性和烧结活性。具有高致密性、高成品率，工艺设备简单，成本较低，易于工业化。靶材具有高密度、低中毒率、可见光（400-700nm）透过率≥90%，近红外区（700-1400nm）透过率≥85%，适用于DC-磁控溅射大面积薄膜光伏电池镀膜。

主权项

一种锌镓铝三元氧化物旋转陶瓷靶材，其特征在于，原料组成以质量百分比计为：氧化镓含量为0.5‑3.5%、氧化铝含量为0.5‑2.5%、氧化钨含量为0.002‑0.05%，余量为氧化锌。