| 发明名称 | 用于测量薄层的厚度的测量探头及用于制造用于测量探头的传感器元件的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于测量薄层的厚度的测量探头，其具有壳体(14)，测量探头具有至少一个传感器元件(17)，传感器元件(17)可沿纵向轴线(16)至少略微移动地收纳在壳体(14)中，且传感器元件(17)包括至少一个绕组装置(44)，绕组装置(44)分配给纵向轴线(16)，具有面对壳体(14)的外部前面的球形定位盖(21)，所述盖沿纵向轴线(16)布置，其中球形定位盖(21)具有基体(55)，基体(55)具有柱形芯区段(56)和布置在芯区段(56)的前面上的极盖(58)，其中绕组装置(44)分配给球形定位盖(21)，所述绕组装置由盘状或环形载体(49)形成，其中至少一个阿基米德线圈(51)布置在载体(49)上，且其中基体(55)由铁素体材料构成，以及极盖由硬金属构成。 | ||
| 申请公布号 | CN103703362A | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
| 申请号 | CN201280025302.3 | 申请日期 | 2012.05.24 |
| 申请人 | 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所 | 发明人 | H.菲舍尔 |
| 分类号 | G01N27/90(2006.01)I;G01B7/06(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/90(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 肖日松;胡斌 |
| 主权项 | 一种用于测量薄层的厚度的测量探头，其具有壳体(14)，所述测量探头具有至少一个传感器元件(17)，所述传感器元件(17)可沿纵向轴线(16)至少略微移动地收纳在所述壳体(14)中，且所述传感器元件(17)包括至少一个绕组装置(44)，所述绕组装置(44)分配给所述纵向轴线(16)，所述测量探头具有面对所述壳体(14)的外部前面(53)的球形定位盖(21)，所述盖沿所述纵向轴线(16)布置，其中，所述球形定位盖(21)具有基体(55)，所述基体(55)具有柱形芯区段(56)和布置在所述芯区段(56)的前面上的极盖(58)，其特征在于，所述绕组装置(44)分配给所述球形定位盖(21)，所述绕组装置由盘状或环形载体(49)形成，其中，至少一个阿基米德线圈(51)布置在所述载体(49)上，且其中，所述基体(55)由铁素体材料构成，以及所述极盖(58)由硬金属构成。 | ||
| 地址 | 德国辛德尔芬根 | ||