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发明名称 监控微影制程之方法与监控标记
摘要
申请公布号 TWI432915 申请公布日期 2014.04.01
申请号 TW097112185 申请日期 2008.04.03
申请人 力晶科技股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号 发明人 吴健民;陈建志
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 戴俊彦 新北市永和区福和路389号6楼之3;吴丰任 新北市永和区福和路389号6楼之3
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号
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