发明名称 洗净设备
摘要
申请公布号 TWM475692 申请公布日期 2014.04.01
申请号 TW102221228 申请日期 2013.11.13
申请人 弘塑科技股份有限公司 新竹市香山区中华路6段89号 发明人 黄富源;张修凯;王玺钧;王志成
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人 庄志强 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项
地址 新竹市香山区中华路6段89号