一种表面等离子激元光波导

摘要

本发明公开了一种表面等离子激元光波导结构，该波导结构的横截面包括带倒梯形或矩形沟槽的介质基底层(1)、位于介质基底层上的薄金属层(2)以及包层(3)。在合适的结构参数下，该波导可同时支持沟槽表面等离子激元以及楔形表面等离子激元两种模式，同时保持较低的传输损耗。

主权项

一种表面等离子激元光波导，其横截面包括带沟槽的介质基底层、位于介质基底层上的薄金属层以及位于薄金属层上的包层；沟槽的截面形状为倒梯形、矩形中的任何一种；沟槽的下表面宽度为所传输的光信号的波长的0.06‑0.8倍，且不大于沟槽的上表面的宽度，沟槽的上表面的宽度为所传输的光信号的波长的0.06‑0.8倍，沟槽的深度范围为所传输的光信号的波长的0.6‑5倍；薄金属层的厚度范围为所传输的光信号的波长的0.006‑0.06倍；介质基底层和包层的材料为相同材料或不同材料。