发光二极管的制作方法

摘要

本发明公开一种发光二极管的制作方法，其包括提供一外延基板，外延基板具有一第一表面与一第二表面，第一表面与第二表面分别位于外延基板的相反侧；形成一外延结构于外延基板的第一表面上，外延结构具有一第一半导体层及一第二半导体层；形成一沟槽于外延结构上，沟槽暴露出第一半导体层；提供一固定基板设置于外延结构及第一半导体层上；提供一能量由外延基板的第二表面进入外延基板，并聚焦于第一表面及第二表面之间；形成一反射层于外延基板的第二表面上；以及移除固定基板，并进行管芯劈裂，以形成多个发光二极管管芯。

主权项

一种发光二极管的制作方法，包括：提供一外延基板，该外延基板具有第一表面与第二表面，其中该第一表面与该第二表面分别位于该外延基板的相反侧；形成一外延结构于该外延基板的该第一表面上，其中该外延结构具有第一半导体层及第二半导体层；形成一沟槽于该外延结构上，其中该沟槽暴露出该第一半导体层；提供一固定基板设置于该外延结构及该第一半导体层上；提供一能量由该外延基板的该第二表面进入该外延基板，并聚焦于该第一表面及该第二表面之间；形成一反射层于该外延基板的该第二表面上；以及移除该固定基板，并进行管芯劈裂，以形成多个发光二极管管芯。