一种银靶材制造方法

摘要

本发明涉及靶材制造领域，尤其涉及一种银靶材制造方法，选用纯度4N以上银原料，利用大气熔炼或真空熔炼方法将银原料熔融，并将熔汤浇铸，再冷却形成铸锭坯料，将步铸锭坯料立即进行保温热处理，在400~900℃温度范围进行保温均化，保温时间0.5h以上，然后进行热轧延或者空气锤锻打，形成银坯，对银坯进行冷轧延，形成冷轧坯，将冷轧坯做退火热处理，退火热处理温度为350~700℃，时间为0.5小时~3小时，获得晶粒细小且均匀的银靶坯，最终通过机床加工即可获得大尺寸银靶材，该工艺具有较高的加工效率并能生产品质优良、低成本的大尺寸银靶材。

主权项

本发明的一种银靶材制造方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤（1）：选用纯度4N以上银原料，利用大气熔炼或真空熔炼的方法将银原料熔融，并将熔汤浇铸，浇铸后的熔汤冷却形成铸锭坯料；步骤（2）：将步骤（1）浇铸所形成的铸锭坯料立即进行保温热处理，在400~900℃温度范围进行保温均化，保温时间0.5h以上，然后将保温热处理后的铸锭坯料进行热轧延或者空气锤锻打，形成银坯；步骤（3）：对步骤（2）所得银坯冷却到室温后，在室温的环境下对银坯进行冷轧延，形成冷轧坯； 步骤（4）：将步骤（3）冷轧所形成的冷轧坯做退火热处理，退火热处理温度为350~700℃，时间为0.5小时~3小时，获得晶粒细小且均匀的银靶坯，最终通过机床加工即可获得大尺寸银靶材。