发明名称
摘要 An angular velocity detecting device includes a semiconductor substrate (2); an oscillator (3) formed on the semiconductor substrate (2); and a control circuit (4) which is formed on the semiconductor substrate (2) and controls the oscillator (3).
申请公布号 JP5451396(B2) 申请公布日期 2014.03.26
申请号 JP20090534360 申请日期 2008.09.25
申请人 发明人
分类号 G01C19/5656;B81B3/00;B81C1/00;G01C19/56;G01C19/5663;H01L41/08;H01L41/18;H01L41/22;H01L41/318;H01L41/332 主分类号 G01C19/5656
代理机构 代理人
主权项
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