一种阵列基板、制备方法以及显示装置

摘要

本发明属于显示技术领域，涉及一种阵列基板、制备方法以及显示装置。一种阵列基板，包括基板以及设置于所述基板上的薄膜晶体管和存储电容，所述薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极以及设置于所述源极、所述漏极与所述栅极之间的栅绝缘层，所述存储电容包括第一极板、第二极板以及设置于所述第一极板与所述第二极板之间的电介质层，其中，所述第一极板与所述第二极板均采用金属材料形成，所述电介质层与所述栅绝缘层采用相同的材料形成。该阵列基板相比现有技术中阵列基板的制备方法，减少了两次构图工艺和一次离子注入工艺，简化了阵列基板的制作流程；同时，能提高阵列基板中存储电容CS的充电速度，同时提高显示装置的显示质量。

主权项

一种阵列基板，包括基板以及设置于所述基板上的薄膜晶体管和存储电容，所述薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极以及设置于所述源极、所述漏极与所述栅极之间的栅绝缘层，所述存储电容包括第一极板、第二极板以及设置于所述第一极板与所述第二极板之间的电介质层，其特征在于，所述第一极板与所述第二极板均采用金属材料形成，所述电介质层与所述栅绝缘层采用相同的材料形成。