LASER DICING METHODS

摘要

표면에 금속막을 구비하는 피가공 기판의 레이저 다이싱 방법이며, 피가공 기판을 스테이지에 적재하고, 금속막에 대해 디포커스된 펄스 레이저 빔을 조사하여, 금속막을 박리하는 금속막 박리 스텝과, 피가공 기판의 금속막이 박리된 영역에 펄스 레이저 빔을 조사하여, 피가공 기판에 크랙을 형성하는 크랙 형성 스텝을 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 다이싱 방법이다.