大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置及方法

摘要

本发明公开一种大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置及方法，在这空舱侧壁上安装有三个真空计与两个外置式低温泵；通过氙气瓶向真空舱内通入氙气，通入氙气的压力通过流量计与压力表测量，且通过减压器与电磁阀控制流量；当氙气通入管道压力过高时，可通过安全阀放气；真空舱上还连接有与作为低温泵前级的罗茨泵机组。进行抽速测试时，依次通过罗茨泵机组与一个或二个外置式低温泵对将真空舱内抽至极限压力；随后向真空仓内通入氙气，根据真空舱内压力恒定时，记录三个真空计测量压强均值，通过运算即可得到单泵或双泵的抽气速度。本发明的优点为：可对单泵或双泵进行氙气抽速测试，且便于操作，成本低，测试精度高。

主权项

大口径外置式低温泵氙气抽速测试装置，其特征在于：包括氙气瓶、减压器、流量计、电磁阀、真空计A、真空计B、真空计C、外置式低温泵A、外置式低温泵B、罗茨泵机组、真空舱、压力表A、压力表B、安全阀；所述的氙气瓶、减压器、流量计与电磁阀通过供气管路顺次连接；供气管路的出气端与真空舱前部连通，且供气管路的出气端伸入真空舱内部；氙气瓶与减压器间的供气管路上安装有压力表A和安全阀；减压器和流量计间的供气管路上安装有压力表B；所述罗茨泵机组通过管道与真空舱相连；外置式低温泵A与外置式低温泵B以及真空计A、真空计B、真空计C均安装在真空舱侧壁上。