一种提高二氧化碳激光器倍频效率的准相位匹配晶体制备方法

摘要

一种提高CO2激光器倍频效率的准相位匹配晶体制备方法属于激光领域。其特征在于：用硒化锌单晶作为准相位匹配倍频晶体，将硒化锌单晶垂直<110>方向切割成多个规格相同的厚度为100-120μm的薄片，相邻晶片极化方向相差180°，晶片的表面抛光后经过氢离子束轰击处理，通过键合技术将相邻硒化锌晶片牢固结合，使多层晶片形成一体。本发明所述的方法相对于目前常用倍频方法有以下优点：器件光学损耗小；通光孔径达到1cm2以上；可以大大提高CO2激光器准相位匹配倍频晶体的转换效率和输出功率。

主权项

一种提高CO2激光器倍频效率的准相位匹配晶体制备方法，其特征在于：用硒化锌单晶作为准相位匹配倍频晶体，将硒化锌单晶垂直<110>方向切割成多个规格相同的厚度为100‑120μm的薄片，相邻晶片极化方向相差180°，晶片的表面抛光后经过氢离子束轰击处理，通过键合技术将相邻硒化锌晶片牢固结合，使多层晶片形成一体； 其中使用氢离子束轰击清洗硒化锌表面，清洗过程在真空度小于5*10‑5Pa的真空中进行，轰击时间为20分钟；键合过程在超高真空中进行，真空度小于10‑7Pa，晶片整体均匀加温到200℃，晶片均匀施加10kg/cm2的压力，保持60分钟，最后退火到室温。