检测缺陷扫描程式灵敏度的方法

摘要

本发明一种检测缺陷扫描程式灵敏度的方法，通过于光罩的一个或多个灵敏度检测样本单元上制作一个或多个不同形状缺陷检测样本组，并显影到芯片上，其中，同一形状的缺陷检测样本组包括一个或多个尺寸不同的缺陷检测样本，并且，按灵敏度要求确定每组中的多个样本尺寸取值范围和排列间隔；建立缺陷扫描程式对灵敏度检测样本单元进行扫描，对所捕获的缺陷检测样本的形状和尺寸进行分析，获得缺陷检测样本的形状和其所对应的最小尺寸，以此结果确定缺陷扫描程式的灵敏度，降低检测缺陷扫描程式不能捕获特定形状缺陷尤其是重要类型缺陷的风险，进而提升产品的良率。

主权项

一种检测缺陷扫描程式灵敏度的方法，其特征在于，包括：提供一种光罩，所述光罩具有一个或多个灵敏度检测样本单元；于所述单元上制作一个或多个不同形状缺陷检测样本组，并显影到芯片上，其中，同一形状的所述缺陷检测样本组包括一个或多个尺寸不同的缺陷检测样本，并且，按灵敏度要求确定每组中的多个样本尺寸取值范围和排列间隔；建立缺陷扫描程式对所述灵敏度检测样本单元进行扫描，对所捕获的所述缺陷的形状和尺寸进行分析，获得所述缺陷的形状和其所对应的最小尺寸，以此结果确定缺陷扫描程式的灵敏度。