在光刻系统中处理基板的方法

摘要

一种在光刻系统的光刻系统单元中处理基板的方法，光刻系统单元包括至少两个基板预备单元（360a-360d）、包括至少第一和第二基板位置的负载锁定单元（310）、和用于在基板预备单元与负载锁定单元之间转移基板的操纵基板的机器人。该方法包括：将一连串待曝光的基板提供给机器人，这些基板包括一第N个基板、一在该第N个基板的前一个的第N-1个基板、以及一在该第N个基板的后一个的第N+1个基板；借助于机器人将第N个基板转移至基板预备单元中的第一个；将第N个基板夹箝在第一基板预备单元中的第一基板支承结构上，第N个基板和第一基板支承结构一起形成受夹箝的第N个基板；借助于机器人将受夹箝的第N个基板从第一基板预备单元转移至负载锁定单元中的第一和第二位置中未被占用的一个，以用于在光刻系统单元中曝光；和在光刻系统单元中曝光受夹箝的第N个基板。

主权项

一种在光刻系统（300）的光刻系统单元（301）中处理基板（405）的方法，该光刻系统单元包括至少两个基板预备单元（360）、包括至少第一和第二基板位置的负载锁定单元（310）、以及用于在所述基板预备单元与所述负载锁定单元之间转移基板的操纵基板的机器人（401），其中该方法包括：将一连串待曝光的基板（405）提供给所述机器人，这些基板包括一第N个基板、一在该第N个基板的前一个的第N‑1个基板、以及一在该第N个基板的后一个的第N+1个基板；借助于所述机器人将所述第N个基板转移（505）至所述基板预备单元中的第一基板预备单元；将所述第N个基板夹箝在所述第一基板预备单元中的第一基板支承结构（403）上，所述第N个基板和所述第一基板支承结构一起形成受夹箝的第N个基板；借助于所述机器人将所述受夹箝的第N个基板从所述第一基板预备单元转移（517）至所述负载锁定单元中的第一和第二位置中未被占用的一个位置，以用于在所述光刻系统单元中曝光；以及在所述光刻系统单元中曝光所述受夹箝的第N个基板。