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Hochleistungs-Flächenlichtquelle zur Durchleuchtung von weitgehend flächigen Objekten, insbesondere für Anwendungen zur Prüfung von Siliziumbauteilen auf Grundlage einer optischen Detektion von Rissen in Bauteilen für opto- und halbleiterelektronische, optische und mechanische Anwendungen, dadurch gekennzeichnet, dass die Flächenlichtquelle in einem lichtdichten Gehäuse mehrere Einzelleuchten aufweist, die derart angeordnet sind, dass die von den Einzelleuchten ausgehenden Strahlengänge in ihrer Gesamtheit vollständig den gesamten Prüfbereich der Flächenlichtquelle beleuchten, wobei sich auf jedem Flächenabschnitt des Leuchtenfeldes maximal zwei Strahlengänge überlagern und wobei der Anteil von Zonen mit einer sich überschneidenden Bestrahlung von zwei verschiedenen Einzelleuchten etwa 17% beträgt. |
