发明名称 金相组织电解液、钼的腐蚀方法及其金相组织显示方法
摘要 种金相组织电解液、钼或钼合金的腐蚀方法及其金相组织的显示方法,所述钼或钼合金金相组织的显示方法包括:提供钼或钼合金靶材;对所述钼或钼合金靶材进行打磨;对打磨后的钼或钼合金靶材进行机械抛光;将机械抛光后的钼或钼合金靶材在金相组织电解液中进行电解抛光,所述金相组织电解液为乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。采用乙醇、正丁醇、高氯酸和水配制成的金相组织电解液对钼或钼合金具有良好的腐蚀效果。
申请公布号 CN102443841B 申请公布日期 2014.03.12
申请号 CN201110396459.4 申请日期 2011.12.02
申请人 宁波江丰电子材料有限公司 发明人 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;方依清
分类号 C25F3/16(2006.01)I;C25F3/26(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I 主分类号 C25F3/16(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 骆苏华
主权项 一种钼或钼合金金相组织的显示方法,其特征在于,包括:提供钼或钼合金靶材;对所述钼或钼合金靶材进行打磨;对打磨后的钼或钼合金靶材进行机械抛光;将机械抛光后的钼或钼合金靶材在金相组织电解液中进行电解抛光,所述金相组织电解液为乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液,所述金相组织电解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的体积比为66:11:33:(10~14),所述电解抛光的时间为4s~8s,所述电解抛光的电压为23V~30V。
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