薄膜厚度的监控方法

摘要

种薄膜厚度的监控方法，包含：提供衬底、参考薄膜和参考热波信号；提供衬底，在所述衬底表面沉积薄膜；对所述薄膜进行掺杂；对掺杂后的薄膜进行热波测量，得到热波信号；对比所得到的热波信号与参考热波信号，如果所得到的热波信号与所述参考热波信号的差的绝对值小于所述参考热波信号的百分之一，则所得到的薄膜的厚度与参考薄膜厚度相同。本发明所提供的薄膜厚度的监控方法，通过测量并比较薄膜的热波信号监控不同批次的薄膜的厚度是否相同，从而判断机台是否发生偏移、以及所设定的工艺菜单是否满足需要。此外，本发明所提供的监控方法测量速度快，不破坏样品。

主权项

一种薄膜厚度的监控方法，其特征在于，包含：提供衬底、进行掺杂处理的参考薄膜和参考热波信号，所述参考热波信号是所述参考薄膜在进行掺杂后，探测光在所述参考薄膜表面反射后的反射光的光强变化幅度与最小光强之间的比值；在所述衬底表面形成薄膜；对所述薄膜进行掺杂；对掺杂后的薄膜进行热波测量，得到热波信号，所述热波信号是探测光在所述掺杂后的薄膜表面反射后的反射光的光强变化幅度与最小光强之间的比值；对比所得到的热波信号与参考热波信号，如果所得到的热波信号与所述参考热波信号的差的绝对值小于所述参考热波信号的百分之一，则所得到的薄膜的厚度与参考薄膜厚度相同。