室内粒子侦测系统

摘要

内粒子侦测系统。大体而言，本发明实施例提供一种改进的室内粒子源确认机制，从而满足了需求。该原位室内粒子源确认方法和设备可以极大的缩短用于确认室内粒子源的时间，能提高用于生产系统的处理室生产能力。该方法和设备也可以用于在工程研制阶段检测元件的粒子性能。在一个实施例中，一个用于半导体处理室的原位室内粒子监测组件包括至少一个激光光源。该至少一个激光光源可以在处理室的室处理体积内扫描激光光。该原位室内粒子监测组件还包括至少一个激光光收集器。该至少一个激光光收集器能够收集由该至少一个激光光源发出的激光光。该室内粒子监测组件还包括一个位于处理室外的分析器，用于分析代表由该至少一个激光光收集器收集的激光光的信号以提供室内粒子信息。

主权项

一种用于半导体处理室的原位室内粒子监测组件，包括：至少一个激光光源，其中该至少一个激光光源可以在处理室内的室处理体积内扫描激光光；多个激光光收集器，其中该多个激光光收集器可以收集由该至少一个激光光源发出的激光光，其中该多个激光光收集器被设置为没有激光光收集器共享公共轴线；和位于处理室外部的分析器，分析代表由该多个激光光收集器收集的激光光的信号以提供室内粒子信息。