基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法

摘要

发明公开了一种基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法。步骤如下：采用延迟阵列作为动态干涉系统的移相器件，所述延迟阵列包含4个子波片且各子波片分别为λ/4片、λ/2片、3λ/4片、λ片，延迟阵列后方设置透振方向与水平方向夹角为45°的偏振片；在动态干涉仪测试臂中放置标准平面镜，通过CCD采集得到4个线性载频移相干涉图；对每个线性载频移相干涉图进行傅里叶变换，标定延迟阵列各子波片快轴方位角；在动态干涉仪的测试臂中放入待测件，调节待测件的倾斜俯仰及轴向离焦，得到同步移相干涉图；根据标定的各子波片快轴方位角和同步移相干涉图，处理得到待测件的相位分布。该方法快捷简单，适用于采用分光方案的动态干涉仪。

主权项

一种基于随机快轴方位角延迟阵列的动态干涉测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，采用延迟阵列作为动态干涉系统的移相器件，所述延迟阵列包含4个子波片且各子波片分别为λ/4片、λ/2片、3λ/4片、λ片，延迟阵列后方设置偏振片，该偏振片的透振方向与水平方向夹角为45°；步骤2，在动态干涉仪测试臂中放置标准平面镜，调整标准平面镜的倾斜俯仰使干涉图中的条纹数大于20根，通过CCD采集得到4个线性载频移相干涉图；步骤3，对每个线性载频移相干涉图进行傅里叶变换，标定延迟阵列各子波片快轴方位角；步骤4，在动态干涉仪的测试臂中放入待测件，调节待测件的倾斜俯仰及轴向离焦，得到同步移相干涉图；步骤5，根据步骤3标定的各子波片快轴方位角和步骤4中的同步移相干涉图，处理得到待测件的相位分布。