| 发明名称 | 整合CMOS-FTIR测定及拉曼测定的光谱仪及其方法 | ||
| 摘要 | 发明公开一种位在一硅晶绝缘体(SOI)晶圆上，以CMOS技术整合的傅立叶转换红外光(FTIR)光谱仪。本发明完全整合于一精巧、微型、低成本及CMOS制造兼容芯片。本发明可在1.1μm到15μm范围内的各种红外光区运作，或可一次覆盖1.1μm到15μm的全光谱。所述CMOS-FTIR光谱仪具有高光学分辨率，无可移动部件，无光学镜片，精巧，在恶劣外部环境下不易损坏之特性，以及可用标准CMOS技术制造，使得FTIR光谱仪可大量生产。所述完全整合CMOS-FTIR光谱仪可用电池运作，所需的功能可用标准CMOS技术集成到单一芯片上。本公开发明的FTIR光谱仪亦可改造成一CMOS-拉曼光谱仪。 | ||
| 申请公布号 | CN103635785A | 申请公布日期 | 2014.03.12 |
| 申请号 | CN201280018360.3 | 申请日期 | 2012.02.14 |
| 申请人 | 勒克思马克斯科技公司 | 发明人 | 杨纳森·丹特勒;欧尔理·亚迪德-佩科特 |
| 分类号 | G01J3/12(2006.01)I;G01J3/433(2006.01)I;G01J3/44(2006.01)I;G02B27/10(2006.01)I;G02B6/12(2006.01)I;H01L31/16(2006.01)I | 主分类号 | G01J3/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人 | 翟羽 |
| 主权项 | 一种光谱仪，其特征在于，包含：(a)分隔成N个波长间隔Δλi,i＝1,..,N的宽带红外光信号，使得每一波长间隔仅以其基本模式传播；以及(b)在硅波导中经由调变而产生干涉图的装置。 | ||
| 地址 | 加拿大阿尔伯塔省卡加利市理查德德路西南300之5号 | ||