发明名称 |
监测漏电的结构 |
摘要 |
实用新型提出了一种监测漏电的结构,用于监测不同层之间的漏电情况,包括:同层监测结构、相邻监测层以及形成于所述同层监测结构和所述相邻监测层之间的介质层;在同层监测结构之下或者之上形成有相邻监测层,同层监测结构与相邻监测层之间形成有介质层起隔离作用,在进行监测时,可以通过测量同层监测结构与相邻监测层之间是否存在漏电流或电压便能够监测出不同层之间是否存在漏电的情况。 |
申请公布号 |
CN203481225U |
申请公布日期 |
2014.03.12 |
申请号 |
CN201320588432.X |
申请日期 |
2013.09.23 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
钟怡 |
分类号 |
H01L23/544(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/544(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种监测漏电的结构,用于监测不同层之间的漏电情况,其特征在于,所述结构包括:同层监测结构、相邻监测层以及形成于所述同层监测结构和所述相邻监测层之间的介质层,其中,所述相邻监测层包括导电层以及与所述导电层相连的导电线。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |